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等離子蝕刻是什么 能用來做什么
來源:深圳金徠
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作者:深圳金徠
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發(fā)布時間: 2021-06-28
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等離子蝕刻是什么 能用來做什么
等離子蝕刻是什么：
簡單地說，等離子體或干法蝕刻是用等離子體代替液體蝕刻劑進行的蝕刻工藝，為此設置很像濺射，在此過程中，您實際上不必沉積一層，而是同時蝕刻材料表面。
等離子蝕刻（或干蝕刻）的主要挑戰(zhàn)在于在電極和必須蝕刻的晶片之間的某處產生正確類型的等離子體。
如果操作得當，晶圓將以正確的方式蝕刻，要進行等離子蝕刻，壓力室的壓力必須小于 100 帕，電離僅在輝光電荷下發(fā)生，產生的激勵由外部源產生，該外部源可提供高達 30 kW 的功率，頻率范圍為 50 Hz (DC) 至 5 – 10 HZ (Pulsed DC)，以及無線電和微波頻率 (MHz-GHz)。
等離子蝕刻的工藝流程：
蝕刻是從另一種材料的表面去除一種材料的過程。有幾種等離子體處理方法，但主要有兩種蝕刻類型。
一種是濕蝕刻，第二種是干蝕刻，也稱為等離子蝕刻或簡稱等離子蝕刻。
當在蝕刻過程中使用化學品或蝕刻劑去除基板材料時，稱為濕法蝕刻。另一方面，等離子體蝕刻使用等離子體或蝕刻劑氣體來去除襯底材料。也用于制造集成電路或單片集成電路。
等離子蝕刻是一種自 1985 年以來普遍用于結構蝕刻的工具。 與進入芯片制造的其他蝕刻技術相比，等離子蝕刻在 1980 年之前在微電子社區(qū)之外是聞所未聞的。
正是在這段時間里，人們正在探索和引入新的蝕刻工藝。等離子蝕刻相對較高的成功率使其成為眾多制造商的首選蝕刻類型。
等離子清洗前
等離子蝕刻能用來做什么：
1、與酸蝕刻劑不同，等離子蝕刻劑是一種極好的清潔劑，可以去除金屬表面上任何不需要的有機殘留物。
2、與其他蝕刻劑相比，等離子蝕刻可以更好地粘附兩個表面。
3、等離子體蝕刻被認為比傳統(tǒng)的酸蝕刻風險更小。
4、等離子體清洗的使用改善了蝕刻材料的物理特性。
5、等離子蝕刻改善了金屬的化學和物理特性。
這些是已經發(fā)現(xiàn)等離子蝕刻可以用來應用的功能，會導致集成電路制造質量的顯著改進。
等離子清洗后
等離子蝕刻是什么 能用來做什么 總結：
由于其眾多優(yōu)勢，很容易看出干蝕刻和等離子體蝕刻將如何在未來許多年內仍然是蝕刻微系統(tǒng)和集成電路的重要技術。
此外，對于許多應用，使用電容耦合射頻等離子體將是最佳選擇，對于其他更具體的應用，尤其是需要高縱橫比的應用，使用低壓等離子體可以提供更好、更有效的解決方案。